10 000 рублей
20.13 Производство прочих основных неорганических химических веществ
72.19 Научные исследования и разработки в области естественных и технических наук прочие
27.90 Производство прочего электрического оборудования
28.99 Производство прочих машин и оборудования специального назначения, не включенных в другие группировки
28.29.6 Производство оборудования для обработки материалов с использованием процессов, включающих изменение температуры, не включенного в другие группировки
26.11.2 Производство диодов, транзисторов и прочих полупроводниковых приборов, включая светоизлучающие диоды, пьезоэлектрические приборы и их части