7 000 000 рублей
26.11.3 Производство интегральных электронных схем
26.11.1 Производство электронных вакуумных ламп и трубок и прочих электронных вакуумных приборов
26.11.2 Производство диодов, транзисторов и прочих полупроводниковых приборов, включая светоизлучающие диоды, пьезоэлектрические приборы и их части
26.11.9 Производство частей электронных ламп, трубок и прочих электронных компонентов, не включенных в другие группировки